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激光干涉儀-精度標定

激光干涉儀-精度標定

  • 分類:應用案例
  • 作者:
  • 來源:
  • 發布時間:2020-03-16
  • 訪問量:1

【概要描述】

激光干涉儀-精度標定

【概要描述】

  • 分類:應用案例
  • 作者:
  • 來源:
  • 發布時間:2020-03-16
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詳情

  采用英國雷尼紹的激光干涉儀和瑞典??怂箍档亩卧雀呔葮硕▋x調試工具。

  激光干涉儀具有超高分辨率,可達0.001μm。我們對各運動軸進行高精度標定,絕對定位精度小于±1μm。重復定位精度小于±0.5μm。配合先進的龍門雙驅算法,為高精度微組裝工藝提供可靠保障。

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